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HVA 真空插板閥在半導體管道中的應用
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HVA 真空插板閥在半導體管道中的應用

美國 HVA 真空插板閥在半導體管道中的應用
半導體后端工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統 ( 真空管路 ) 的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩定的供應到工藝設備內. 上海伯東美國 HVA 插板閥廣泛用于高真空或超高真空的氣體輸送環節, 用來改變氣流方向, 調節氣流量大小, 切斷或接通管路, 起到真空隔離密封等作用. 美國 HVA 6寸, 8寸 真空插板閥已廣泛應用于半導體氣體管路中! 上海伯東是美國 HVA 插板閥在中國地區唯一指定總代理商.

                                 半導體管道插板閥應用示意圖                                                                       現場圖

真空插板閥
上海伯東美國 HVA 插板閥優勢
1. 滿足高真空(1E10-9  mabr)和超高真空(1E10-10 mbar)應用
2. HVA 插板閥口徑 DN 16 至 800 mm
3. 堅固耐用, 超長使用壽命, 可達 1,000,000 啟動次數
4. 清潔和高密封性保證 HVA 插板閥與前級泵, 渦輪分子泵等完美聯用
5. 雙向密封,最小漏率 < 2x10-9  mbar l/S
6. 可選擇驅動方式多, 手, 氣,電動可選
7. 有效保護分子泵. 氣動和電動插板閥均帶信號反饋裝置, 與分子泵和腔體連用時可以起到截斷一些特殊氣體, 保護分子泵的作用
8. 標準或定制法蘭滿足不同應用
9. 國際標準, 插板閥整機美國設計, 制造, 組裝, 原裝進口

美國 HVA 超過 40年的閥門研發生產經驗, 與友廠對比, HVA 插板閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能.

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