HVA 真空閘閥在氣體管路系統應用
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HVA 真空閘閥在氣體管路系統應用

美國 HVA 真空閘閥在氣體管路系統應用
半導體工廠, 太陽能光伏, LED, 鍍膜等行業在工藝制程中需要使用到例如 Ar, O2 或是其他特殊氣體, 氣體管路系統(真空管路)的作用是把各種氣體在滿足工藝制程要求的純度, 壓力和流量的前提下安全穩定的供應到工藝設備內. 美國 HVA 真空閘閥廣泛用在氣體輸送環節 (氣體管路系統) , 起到真空隔離密封作用.

美國 HVA 超過40年的閥門研發生產經驗, 上海伯東美國 HVA 閘閥口徑 DN 16 至 800 mm, 手動或氣動控制, 超高真空 1x10-10 mbar, 與友廠對比, HVA 閘閥閥體和部件均是在真空爐中一體釬焊完成, 消除了虛漏的可能, 最小漏率 < 2x10-9  mbar l/S, 使用壽命 1,000,000 次(啟閉次數). 上海伯東是美國 HVA 真空閥門在中國地區唯一指定總代理商.
美國HVA真空閘閥
---- 美國 HVA 真空閘閥氣體管路系統應用圖片 ----------------
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