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Pfeiffer 鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220
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Pfeiffer 鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
上海伯東德國普發 Pfeiffer 真空鍍膜工藝監測器 SPM 220 為鍍膜工藝的定性和定量氣體分析提供了完美的解決方案. 搭配 HiPace 渦輪分子泵組和專門開發的鍍膜工藝監測器離子源, 在高達 10-2 hPa 的壓力下, 實現了精確到分鐘的工藝氣體分析. Pfeiffer 同時提供一個帶有壓差孔板法蘭的型號供選擇, 可以實現在高達 10 hPa 的壓力范圍里進行直接的工藝氣體分析.

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 優勢
用于瞬時過程監測的鍍膜工藝監測器離子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的優秀檢測限
對測量結果的最小化背景影響
提供壓力高達 10 hPa 的壓差型號
多重操作允許帶單個 PC 的多個質譜儀系統進行數據評估
靈活集成的緊湊尺寸
通過各種數字和模擬輸入和輸出, 使系統集成方便而靈活

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 應用
半導體生產,玻璃鍍膜, 薄膜太陽能電池發電,研發

鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220 組成:渦輪分子泵+四級桿質譜+離子源
Pfeiffer 普發鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220

鍍膜工藝氣體監測質譜 SPM 220 優勢:
鍍膜工藝監測器離子源,適用于瞬時過程監測
對氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優秀檢測極限
對測量結果的最小化背景影響
壓力高達 10 hPa 的壓差版本
多重操作允許帶單個 PC 的多個質譜儀系統進行數據評估
緊湊設計,易于系統集成
通過各種數字和模擬輸入和輸出
Pfeiffer監測質譜 SPM 220 技術參數:

SPM 系統控制

BRU 220

電壓

115-230 V

前級泵

MVP 020-3

四極控制

QME 220

帶 SPM 離子源的分析儀

QMA 220

探測器

C-SEM/Faraday

桿系統:材料

不銹鋼

桿系統:直徑

6 mm 

桿系統:長度

100 mm 

檢測極限(氬中):二氧化碳

< 100 ppb

檢測極限(氬中):氧氣

< 100 ppb

檢測極限(氬中):氮

< 100 ppb

檢測極限(氬中):水

< 3000 ppb

檢測極限(氬中):水蒸氣

< 500 ppb or < 6000 ppb

渦輪分子泵

帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80

質量數

 

1-100 amu or 1-200 amu

過程壓力至

1 hPa or 10 hPa or 8hPa

連接法蘭(入口)

DN 40 CF-F

重量

13 kg 

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論,請參考以下聯絡方式:
上海伯東:葉女士                         臺灣伯東:王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109         T: +886-03-567-9508 ext 161
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qq: 2821409400

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