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Pfeiffer 殘氣質譜儀 RGA 應用于角分辨光電子能譜儀 XPS
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Pfeiffer 殘氣質譜儀 RGA 應用于角分辨光電子能譜儀 XPS

上海伯東德國 Pfeiffer 殘氣質譜儀 RGA 應用于角分辨光電子能譜儀 XPS
光電子能譜儀(photoelectron spectrograph)利用光電效應測出光電子的動能及其數量的關系,由此來判斷樣品表面各種元素含量,并可分析固、液、氣樣品中除氫以外的一切元素。
角分辨 XPS 應用于各種固體材料表面(界面)的元素及化學態的定性、半定量、結構分析及化學

鍵研究。
使用上海伯東德國Pfeiffer殘氣分析質譜 QMG,對XPS系統的分析室殘余氣體進行定性和半定量分析,并針對殘余氣體進行除氣措施,從而達到清潔樣品表面,減少空氣分子與標的電子的碰撞,最終得到金屬材料表面的元素及結構分析信息。
上海伯東客戶案例:上海某大學
角分辨光電子能譜儀+Pfeiffer殘余氣體分析質譜應用試驗條件:
金屬樣品厚度:2nm
主真空室:1×10-10 Torr
分辨率:0.8cV
電子槍束斑:75nm
靈敏度:80KCPS
信噪比:大于70:1
角分辨:5°~90°
靈敏度:255 KCPS A1/Mg雙陽極靶
能量分辨率:0.3% 位置靈敏檢測器(PSD)  
角分辨光電子能譜儀配套上海伯東德國 Pfeiffer QMG 質譜分析儀配置:
1.測量范圍:1-300amu
2.檢測方式:Faraday/C-SEM
3.加熱溫度:1-200℃
4.離子源:開放式離子源
Pfeiffer 質譜分析儀
Pfeiffer 殘余氣體質譜分析儀與友廠同級別質譜分析儀相比,更適用于移動應用,并且提供高解析度和靈敏度,可對氣體進行定性和定量分析,應用范圍廣泛,從大氣壓力到高真空均可使用。
Pfeiffer 質譜分析儀

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