上海伯東真空產品事業部搬遷通知

新品上市

上海伯東德國 Pfeiffer 新推出離子注入系統專用渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT.
在離子注入系統中, 氫氣等小分子氣體的抽速非常重要, 此款渦輪分子泵精巧的轉子設計保證小分子氣體絕佳的抽速, 確保了針對離子注入工藝的最佳工藝適應性, 渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 針對氫氣抽速高達 2600 l / s, 是同級別分子泵中佼佼者.

渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能溫度管理系統, 減少泵系統內部的工藝冷凝和沉積, 該系統允許單獨設置溫度, 確保渦輪分子泵能夠最佳地適應工藝需求. 鍍鎳轉子確保泵本身耐用性.

渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 產品優勢
1. 氫氣抽速高達 2600 l / s
2. 鍍鎳轉子更耐用
3. 采用智能溫度管理系統,能自適應工藝條件, 減少泵內冷凝和沉積
4. 使用壽命更長
渦輪分子泵 HiPace 2800
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 適用領域: 離子注入機, 苛刻工藝

渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 主要技術參數

進氣法蘭

抽速 l/s

壓縮比

在全轉速情況下
氣流量 hPa l/s

極限壓力

DN 250 ISO-F

氮氣 2,300
氬氣 2,100
氦氣 2,900
氫氣 2,600

氮氣 > 1X108

氬氣> 1X108

氦氣 6X104

氫氣 4X103

氮氣 16
氬氣 11

氦氣 50

氫氣 24

< 1X10-7 hPa


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